News
25 January 2024
Sensors: Проектирование, моделирование и экспериментальное исследование микрооптоэлектромеханического акселерометра Micro-G с оптическим туннельным измерительным преобразователем. Е. Барбин, Т. Нестеренко, А. Коледа, Е. Шестериков, И. Кулинич, А. Коколов, А. Перин
Sensors: The Design, Modeling and Experimental Investigation of a Micro-G Microoptoelectromechanical Accelerometer with an Optical Tunneling Measuring Transducer. E. Barbin, T. Nesterenko, A. Koleda, E. Shesterikov, I. Kulinich, A. Kokolov, A. Perin
![](/images/image(61).png)
Микроэлектромеханические акселерометры широко применяются во многих областях техники, таких как высокоточная навигация, мониторинг вибраций, мониторинг конструкций и транспортных средств, сейсморазведка, нефтяная промышленность. Микрооптоэлектромеханические (МОЭМ) акселерометры в последнее время становятся все более популярными, поскольку сочетают в себе преимущества оптических измерений и микроэлектромеханических систем. Они невосприимчивы к электромагнитным шумам, обладают высокой чувствительностью.
Томские ученые из ТУСУРа, ТПУ и Института оптики атмосферы им. В.Е. Зуева спроектировали, изготовили и протестировали МОЭМ акселерометр на основе туннельного эффекта. Акселерометр предложенной конструкции обладает высокой чувствительностью и малым собственным шумом и может с успехом использоваться в сейсморазведке и в системах мониторинга критических конструкций.
![](/images/image(62).png)